25μm工艺在6寸厂，月产大概3-5万片，但实际常打七折八折～
光刻机多是老款接触式的，一小时就干40-60片；干法蚀刻慢悠悠，0.5-1μm/分钟，单片折腾半小时到五十分钟；良率还行，熟手厂子能稳在85%-92%。
但现实很骨感：设备基本二手起步，真实产能只剩标称的70%-80%；光刻机还得配2-3μm对准精度，差一点就糊；6寸片厚625μm，比8寸多耗15%时间，属实笨重担当。
业内摸底数据也摆这儿了：单线月产8k-12k片，设备开动率65%-75%，换个产品还要停机调4-8小时……（来源：中半协2023年12家6寸厂实测）
光刻机多是老款接触式的，一小时就干40-60片；干法蚀刻慢悠悠，0.5-1μm/分钟，单片折腾半小时到五十分钟；良率还行，熟手厂子能稳在85%-92%。
但现实很骨感：设备基本二手起步，真实产能只剩标称的70%-80%；光刻机还得配2-3μm对准精度，差一点就糊；6寸片厚625μm，比8寸多耗15%时间，属实笨重担当。
业内摸底数据也摆这儿了：单线月产8k-12k片，设备开动率65%-75%，换个产品还要停机调4-8小时……（来源：中半协2023年12家6寸厂实测）