高精度光刻机都在哪些行业应用？

高精度光刻机主要应用于集成电路（芯片）制造、先进封装、MEMS传感器、LED、OLED显示面板、纳米器件及科研领域，是半导体前道制程的核心装备。

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超声波技术
超声波定位目前大多数采用反射式测距法。系统由一个主测距器和若干个电子标签组成，主测距器可放置于移动机器人本体上，各个电子标签放置于室内空间的固定位置。定位过程如下：先由上位机发送同频率的信号给各个电子标签，电子标签接收到后又反射传输给主测距器，从而可以确定各个电子标签到主测距器之间的距离，并得到定位坐标。
定位精度：超声波定位精度可达厘米级，精度比较高。缺陷：超声波在传输过程中衰减明显从而影响其定位有效范围。
2.蓝牙（iBeacon）定位技术
通过使用低功耗蓝牙技术（Bluetooth Low Energy，也就是Bluetooth 4.0或者Bluetooth Smart），iBeacon基站便可以自动创建一个信号区域，当设备进入该区域时，相应的应用程序便会提示用户是否需要接入这个信号网络。蓝牙定位技术在国内已有较多应用，比如：真趣科技已经为医院、工厂、会展、智慧大楼、博物馆/展览馆、幼儿园、养老院、监狱等领域提供了完善的室内定位解决方案。
定位精度：3-5米；因其采用低功耗蓝牙技术，成本大大降低，在国内应用较为广泛。
3.超宽带技术
超宽带技术是近年来新兴的一项无线技术，目前，包括美国，日本，加拿大等在内的国家都在研究这项技术，在无线室内定位领域具有良好的前景。UWB技术是一种传输速率高（最高可达1000Mbps以上），发射功率较低，穿透能力较强并且是基于极窄脉冲的无线技术，无载波。正是这些优点，使它在室内定位领域得到了较为精确的结果。
其定位方法为三边定位，定位精度为：6~10cm，缺陷：造价较高。
4.红外线技术
红外线是一种波长间于无线电波和可见光波之间的电磁波。典型的红外线室内定位系统Active badges使待测物体附上一个电子标识，该标识通过红外发射机向室内固定放置的红外接收机周期发送该待测物唯一ID，接收机再通过有线网络将数据传输给数据库。这个定位技术功耗较大且常常会受到室内墙体或物体的阻隔，实用性较低。
定位精度：5~10m。缺陷：红外线在传输过程中易于受物体或墙体阻隔且传输距离较短，定位系统复杂度较高，有效性和实用性较其它技术仍有差距。

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代码乾坤联合创始人董钰鹏认为物理引擎是推动元宇宙发展的关键技术，称其为软件行业的“光刻机”，强调自主掌握核心技术对元宇宙发展的重要性，同时指出VR技术将增强元宇宙沉浸感并推动其发展。

物理引擎：元宇宙的底层规则构建者

定义与作用：交互式物理引擎定义了元宇宙世界的底层规则，使其与现实社会接轨。通过物理规则构建的多人物理同步世界，符合元宇宙的产品理念，极大提高了内容的乐趣、随机性和真实感。例如，代码乾坤《重启世界》自研的物理引擎技术已获得几十项技术专利，能够模拟真实世界中的各种力学现象，如碰撞、重力、高空加速下落、车辆撞击等，使用户能够在虚拟世界中实现符合现实世界的物理规则，让游戏细节更为真实。

技术突破的重要性：董钰鹏表示，对代码乾坤来说，重要的是通过努力实现中国企业对物理引擎技术的突破，向中国创作者提供优秀的世界创造工具，让他们通过想象力创造属于中华文明的元宇宙。引擎技术在国内仍属于空白领域，被称为软件行业的“光刻机”，自主掌握核心技术才能更好地推动元宇宙发展，让中国软件行业尽早摆脱受制于人的尴尬状态。

元宇宙理念：文化与趣味性的表达

与商业游戏的区别：元宇宙酝酿的内容首先基于世界模拟理念，是创作者对自身文化生活乐趣的分享和表达。这与商业游戏重视对人性的利用，如对成长、胜利的渴望、对社交地位对比的追求不同。元宇宙理念下内容的创作更多是文化和趣味性的表达，而不是商业游戏重视的对成瘾性的追求。因此，元宇宙可以有多个，不同文化酝酿出不同的元宇宙。

Roblox的成功原因：在董钰鹏看来，Roblox是一款伟大的作品，它成功的原因在于背后的交互式物理引擎技术和独立于商业游戏思维之外的元宇宙（世界模拟）理念。理念和技术的双重进步带来了Roblox的产品形态，加上UGC模式下大众参与创造，让一个草创的宇宙不断完善和无限成长，逐渐形成Roblox元宇宙的雏形。

VR技术：增强元宇宙沉浸感的关键媒介

对元宇宙的重要性：董钰鹏极为关注VR技术的进步，认为VR技术极大地增强了虚拟世界的沉浸感，对所有元宇宙理念产品都是极大的帮助。游戏是打开元宇宙内容的一种开关，基于沉浸感和交互模式，游戏形态很容易让用户融入虚拟世界中，这也是元宇宙必备特性。而VR落地应用场景不只有游戏，还包括电商更衣室、换装、虚拟家装、影视、文旅等，这些虚拟世界会为用户提供沉浸式体验。

与物理引擎共同推动元宇宙发展：像Roblox、代码乾坤等企业都在用各种方法制造基于某种文化的沉浸感。如果VR技术成熟，是能够和交互式物理引擎一样推动元宇宙发展。未来人类一定会迈入元宇宙，眼下人类进行各种数字化探索，其实就是组装元宇宙所需的各种零部件，VR技术正是其中重要的组成部分。

室内定位的原理常见的有几种：RSSI值定位、AOA定位、TOF/TWR定位、TDOA定位、PDOA定位等。
TOF/TWR定位、TDOA定位、PDOA定位——微能信息，UWB基站、UWB标签都支持TOF/TWR定位、TDOA定位；另外UWB模块SKU611支持PDOA角度定位。

杨世学　刘宇明
摘要　本文以差分GPS技术多年来在海洋资源调查中使用为例，对差分技术在海洋资源调查中的应用和定位质量评定方法作探讨，并对两种综合导航定位系统作了介绍。
关键词　差分GPS技术　定位中误差　伪距
1　前言
自20世纪90年代以来，我国海洋资源调查中，使用了许多先进的技术手段，如多波束地形地貌全覆盖精密探测技术、多道数字地震勘探和海洋工程勘探技术等，为我国海洋资源的探测发挥了重要作用。而这些先进的技术手段都离不开导航定位技术，近年来，高精度差分GPS导航定位技术有了很大发展，在海洋资源调查中得到广泛的应用。
2　差分GPS定位技术的产生
对海洋资源调查来说，最合适的测量手段是GPS定位技术。早期的GPS定位精度（2DRMS）在百米左右，美国政府在GPS设计中，设计了两种定位方式，即标准定位服务（SPS）及精密定位服务（PPS）。标准定位服务的定位精度约100m，提供给民间用户使用；精密定位服务的定位精度可达到10m，但仅提供给美国军方和得到美国政府特许的用户使用。在标准定位服务方式中，美国政府采用了选择可用性（SA）政策，人为地将误差引入卫星时钟和卫星轨道数据中，降低了GPS的定位精度，使得标准定位服务方式的用户仅能获得100m的水平定位精度（2DRMS）。为了克服SA政策的影响，国内外一些SPS方式的用户采用了较易实施的方法——差分GPS（DGPS）技术。GPS测量中，主要存在着两大误差，一是GPS接收机本身的误差，它包括噪声和量变误差、接收机通道偏差和多路径误差；二是外部误差，它包括电离层延迟误差、对流层延迟误差、卫星时钟误差和卫星轨道参数误差。使用差分技术，主要是为了消除大部分外部公共误差，从而达到提高定位精度的目的。
差分GPS系统可分为四种：位置差分，伪距差分，相位平滑伪距差分和相位差分。这四种差分方式的工作原理基本相同。伪距差分GPS系统工作时，基准站接收机观察它至所有可见卫星的距离，它包含有卫星时钟误差、电离层延迟误差、对流层延迟误差、卫星轨道参数误差等，因此，该距离称为伪距。根据已测定的基准站坐标，求得其至各卫星的精确距离，得到各卫星的伪距改正数，即测定的基准站坐标，求得其至各卫星的精确距离，得到各卫星的伪距改正数，即测距误差。利用α－β滤波器将此差值滤波并求出其偏差——误差改正值。将所有卫星的误差改正值通过通讯链传送给用户。用户利用此值改正测量伪距，从而消除外部误差，提高定位精度。
2000年以后，美国政府暂时取消SA政策（Selective Availability）,GPS单机定位精度有了较大的提高。但是，海上实际工作证明，它仍未能满足海洋资源高精度调查的需要，因此，差分GPS技术仍然得到广泛的使用（图1）。

图1　差分GPS系统工作原理

Fig.1　The operating principle of DGPS
3　差分GPS定位技术的应用及探讨
目前我局使用的差分GPS（DGPS）技术有：广域差分GPS技术和区域差分GPS技术。
3.1　广域差分GPS技术
它的工作原理是：在广大的区域内每隔一定的距离建立一个基准站，基准站的接收机观测它至所有可视卫星的距离，这一距离中包含卫星时钟误差、电离层延迟误差、卫星轨道参数误差等。再根据基准站已知坐标解算出各卫星距离的改正数，并发给主控站。主控站将各卫星的改正数发送给通讯卫星，再由通讯卫星转发给用户（如SEASTAR和LGBX-PRO卫星差分定位接收机）使用。它的工作特点是信号稳定，定位精度高，差分通讯链的作用距离基本不受限制。
LGBX-PRO卫星差分定位接收机是我局使用较多的一种广域差分定位接收机。通过陆地稳定性试验和海上实际工作证明，仪器工作稳定，定位精度高，特别适用于远离陆地的海上作业区。通过下述两个实例可说明如何评价广域差分GPS接收机的动态定位精度：
3.1.1　2001年5月在珠江口某地进行固定点稳定性试验并计算测距误差MR
采样间隔：1s　　采集73197组数据
试验期间LGBX接收机的HDOP最大值为1.9，最小值为0.9，平均值为1.087397。
经过计算得出其均方差值为：MP＝±5.74m
测距误差MR与均方差MP的关系为：
MP=MR×HDOPA
式中各参数的意义如下：
MP：所有样点位置的均方差
MR:GPS测距误差
HDOPA：所有样点的HDOP平均值
其中已测得：
MP＝±5.74m
HDOPA=1.087397
故：　MR=MP/HDOPA＝±5.28m
经过稳定性试验得到有关数据后，船开赴南黄海开展油气资源调查，综合整个工区内的导航数据，以计算定位中误差（m）。
经统计，HDOP平均值HDOPA为1.127，
因：　M=MR×HDOPA
其中MR已由上述算出为±5.28（m）
将有关数据代入误差公式中：
M=MR×HDOP＝±5.28×1.127＝±5.95（m）
3.1.2在南海东北部地球化学调查中，整个工区均使用GPS差分定位，差分信号质量良好。综合整个工区内的导航数据，经统计，HDOP平均值HDOPA为1.078，由误差公式M=MR×HDOPA同样可得到该工区的定位中误差。
如上所述　MR＝±5.28（m）
将有关数据代入误差公式：
定位中误差　M=MR×HDOP＝±5.28×1.078＝±5.69（m）
可见，使用广域差分GPS接收机进行导航定位，其定位精度可在五、六米的范围。工作中有时出现无差分信号，主要是由于受到天波干扰和船上超高频大功率通讯设备的通讯干扰。消除后者干扰的方法是，尽量将差分GPS天线远离干扰源并安装屏蔽板。
3.2　区域差分GPS技术
它的工作原理和广域差分GPS基本相同，只是它的差分改正数是由基准站的通讯链发送给用户的。由于用户和基准站同时接受到同一颗卫星发出的信号，所以，当两者之间的距离增大时，观察卫星的角度不同，相关参数的可靠性变差。因此，随着距离的增加，用户所得到的差分定位误差也会增大。目前，区域差分GPS技术有两种方式：本地差分台和信标差分台。
3.2.1　本地差分台方式
由用户在已知点上建立自己使用的差分基准台，如Sercel LRDGPS系统。它由基准站、差分改正数通讯链和移动台组成。基准站由NR103GPS接收机、格式器和数据通讯发射机组成。通讯系统采用散频技术和错误检查校正技术，数据通讯发射机采用双频发射，发射功率100W，作用距离800km，其实时差分精度在±10m以内。下面举两个实例说明该系统的工作情况。
（1）Sercel LRDGPS系统固定点接收试验。基准站放在广州海洋地质调查局技术方法所导航室楼顶联网点上，移动台放在距联网点145km的惠东县海边。数据通讯信号通过陆地传播，移动台接收到的差分信号稳定。DGPS测算距离与光电测距仪测算距离比较：误差1.68m。
（2）SERCEL差分GPS系统在南海海区工作时，差分参考站架设在一岛上。差分参考站以80W的功率发射误差改正数，移动台接收机在距离参考站800多公里的海区仍正常工作。表1是其中一条测线工作时，差分系统定位中误差统计结果。

表1　SERCEL差分GPS系统定位中误差统计

从表1中的数据可知，差分工作状态时，工作距离达到800km，系统提供的定位中误差优于±10m的定位点仍可达到97%以上。
3.2.2　信标差分台
世界上许多国家利用设在沿海的无线电指向信标台发射差分GPS信号，在该信号覆盖范围内，用户GPS接收机接收到信标差分信息就可提高定位精度。我国已建成二十个发射差分GPS信号的信标台，信号覆盖中国沿海300km地区，从2002年起正式投入使用，该信标网精度很高，在离站台300km之内，定位中误差小于3m。我局的LGBX-PRO GPS接收机可接收信标台的差分信息进行定位。
4　综合导航定位系统
海洋调查船装备了不同类型的物理勘探仪器。如地震仪、浅地层剖面仪、测深仪、多波束测量系统、旁测声纳、磁力仪和重力仪等等。综合导航定位系统不仅要为调查船的海上作业进行导航定位，同时还须控制物探设备、采集调查数据及测线控制参数，在使调查船沿着预定的测线作业的同时还要对定位数据进行质量监控，并将优化的定位数据以不同的数据格式输送到物探仪器。调查船使用了综合导航定位系统后，提高了作业效率，保证了野外采集数据的质量，加强了定位数据和物探数据的交换性，为室内后处理提供了可靠的原始资料。图2是HYPACK和SPECTRA综合导航定位系统的工作原理图。
图2中的两种综合导航定位采集系统都具有较强的图形和数据处理功能，它们采用菜单形式，操作简单，系统工作稳定性。特别是SPECTRA导航定位系统，它是针对地震采集系统开发的综合导航定位采集系统，由三台导航工作站及实时导航接口（RTNU）构成以太网，形成导航控制中心，对地震记录系统、气枪控制器、电缆罗盘数据、GPS接收机数据等外部设备进行监控，通过以太网联系，可同时处理不同设备的海量数据信息。这两种综合导航定位采集系统已在南海、黄海、东海及太平洋调查项目中广泛应用。

图2　HYPACK综合导航定位系统和SPECTRA综合导航定位系统

Fig.2　The HYPACK and SPECTRA integrated navigation and positioning system
5　使用差分GPS技术的几点体会
海上作业证明，综合导航定位系统配备差分GPS接收机，能够满足各种高精度物探仪器工作的要求。在为海洋资源调查服务过程中，从如何提高GPS接收信号质量、加强抗干扰能力和改善差分信号等方面得出以下几点体会。
（1）在某些区域存在着广域差分GPS信号不稳定、甚至长时间接收不到差分信号的情况。多次试验表明，这些区域存在较强的干扰源，特别是沿海地区，随着经济的发展，建设了大功率的雷达和通讯设备，它们的发射信号干扰了差分信号，应采取减弱干扰信号强度的措施，如安装屏蔽板、选定对干扰源方向有遮挡的方向作业等，以提高信噪比。
（2）对区域差分GPS系统而言，基准站的选址应首先考虑干扰源的问题。在拟定台址进行试验期间，观测工作频率边带的频谱，确信频带不受干扰。其次台址应尽量靠近海边，以缩短差分信号通过陆地的距离。因为无线电信号在陆地传播的衰减程度要比在海上大得多。
（3）Sercel LRDGPS系统在满负荷工作时只能运行30分钟，超过时间容易损坏仪器部件。试验和工作证明，在船台距基准台800km范围内，该系统在80%负荷工作时，其差分信号质量与系统满负荷工作时基本相同。
（4）为改善调查船接收的差分信号的质量，船台差分GPS天线位置应选择在空旷地点，尽量远离调查船上的雷达和通讯天线，并连接好地线。
参考文献及资料
[1]彭朝旭等.1999.高精度差分GPS导航定位技术研究报告（内部资料）.3～10
[2]英国CONCEPT公司SPECTRA技术手册
[3]美国COASTAL OCEANOGRAPHICS公司HYPACK技术手册
[4]国土资源部南海地质调查局技术方法所编写.2000.南黄海盆地油气资源调查与评价导航定位报告（内部资料）.2～4
[5]中国海事局发布的中国沿海RBN-DGPS台站位置及信号覆盖范围示意图。
THE APPLICATION AND DISCUSSION ON HIGH ACCURACY DIFFERENTIAL GPS IN MARINE RESOURCE INVESTIGATION
Yang Shixue Liu Yuming
Abstract:In this article,taking the use of differential GPS technology in marine resource investigation as an example,the author discusses the method and positioning quality evaluation of differential GPS technology used in marine resource investigation.And describes HYPACK and SPECTRA integrate navigation systems.
Key word:difference GPS technology,DMRS（determination of root of mean square）,pseudorange