光刻胶这玩意儿,关键就看三点:灵不灵、分不分得清、边儿齐不齐!
灵敏度——说白了就是怕不怕光。越怕光(灵敏度高),一点点紫外光就能反应,省时间、提效率;但太敏感了容易糊,细节就拉垮。
分辨率——就是能刻多细!线宽、间距,越小越好。理论上跟光的波长和光刻机镜头有关(公式咱不念了,记不住)。简单说:灵和细是跷跷板,这边高了那边就低。
对比度——看边缘利不利索。高对比度像美工刀,轻轻一照,边界咔咔清楚,适合做精细电路;低对比度像钝剪刀,得使劲儿照才出效果,适合做大块图案。胶涂薄点,对比度和分辨率还能一起涨~一般值在0.9–2.0之间。
再唠唠正胶和负胶:
?负胶:照过光的地方变硬留着,没照的洗掉——耐操但糙,适合粗线条;
?正胶:照过光的地方反而溶掉,留的是阴影部分——更细更准,芯片主力选手!
(配图:一张光刻胶显影效果对比图,懂的都懂)
灵敏度——说白了就是怕不怕光。越怕光(灵敏度高),一点点紫外光就能反应,省时间、提效率;但太敏感了容易糊,细节就拉垮。
分辨率——就是能刻多细!线宽、间距,越小越好。理论上跟光的波长和光刻机镜头有关(公式咱不念了,记不住)。简单说:灵和细是跷跷板,这边高了那边就低。
对比度——看边缘利不利索。高对比度像美工刀,轻轻一照,边界咔咔清楚,适合做精细电路;低对比度像钝剪刀,得使劲儿照才出效果,适合做大块图案。胶涂薄点,对比度和分辨率还能一起涨~一般值在0.9–2.0之间。
再唠唠正胶和负胶:
?负胶:照过光的地方变硬留着,没照的洗掉——耐操但糙,适合粗线条;
?正胶:照过光的地方反而溶掉,留的是阴影部分——更细更准,芯片主力选手!
(配图:一张光刻胶显影效果对比图,懂的都懂)
