华卓精科作为光刻机核心零部件供应商递交科创板上市材料,若成功上市将成为A股真正的光刻机第一股,其核心业务、市场情况及研发投入等如下:
发展历程早期规划与起步:2001年,公司创始人朱煜参与“十五”“863”IC装备重大专项规划工作,当时我国光刻机分辨率与世界差距大且缺乏产业化。同年,光刻机巨头ASML推出首台双工件台光刻机,引起朱煜关注。工件台与投影物镜、光源并称光刻机三大核心子系统,双工件台可大幅提升光刻机产能。朱煜和团队从“光刻机工件台同步试验”这一“863”专项课题开始工件台研发,2004年研制出10纳米同步精度的超精密运动平台。
研究困境与转机:2004 - 2008年,朱煜团队未获新科研经费,研究几度停顿。2006年集成电路装备被列入国家16个科技重大专项(“02专项”),2009年开始实施,团队再次获得科研经费,研发重点为ASML最新产品中使用的基于磁悬浮平面电机双工件台。
产业化进程:2012年,清华大学与清华大学机械工程系IC制造装备研究室核心团队人员朱煜等8人共同出资设立华卓精科。2016年,公司研制出的两套α样机通过02专项验收,是02专项核心任务光刻机项目群中第一个通过正式验收的项目。招股书透露,公司将于2021年生产可用于浸没式28nm光刻机的DWSi系列双工件台,朱煜曾表示该类双工件台售价约6000万元。
业务重心转移:尽管以光刻机工件台业务起家,但华卓精科主要收入正逐步转向精密运动系统。2019年,晶圆级键合设备收入2562万元,激光退火设备收入1018万元,精密运动系统收入7998万元,光刻机双工件台未产生收入,原因是上海微电子采购进度晚于预期,工件台于2020年4月供货。
客户情况:公司光刻机工件台只有上海微电子一家客户。全球三大光刻机厂商尼康、佳能和ASML合计市场份额超90%,它们均自主研发生产工件台且不对外销售,使得华卓精科成为上海微电子工件台的唯一供应商。
市场空间测算:按照朱煜测算,国内半导体产业每年投资规模约500亿美元,80%用于购买设备,设备投入中30%花在光刻机上,其中20%属于国产化,工件台占光刻机成本的10%到20%,最终国产工件台市场空间在2.4亿美元至4.8亿美元。而精密运动系统市场更广阔,下游应用广泛,包括半导体晶圆AOI检测、LCD及OLED检测与切割、PCB板曝光制造、生物检测等行业。
竞争情况:华卓精科整机产品晶圆级键合设备和激光退火设备2019年发展较快,但最大竞争对手也是上海微电子,公司产品和重要客户存在竞争,是不确定因素。
数据差异原因:公司2017 - 2019年研发费用分别为478万、1375万和1760万元,但研发投入分别为1664万元、8257万元和14182万元,研发投入超过利润表上的研发费用和营业收入。原因是公司将大量政府补助用以冲减研发费用,2017 - 2019年收到的政府补助分别为6937万元、13931万元和32137万元,多数以递延收益形式放在资产负债表上。
对净利润影响:如果扣掉政府补助,公司2019年净利润将不是2087万元,而是亏损,这点值得投资者注意。
