三星EUV极紫外光刻工厂量产技术引领行业
韩国三星在位于华城市的V1工厂实现了一项重大突破,该工厂已经开始大规模生产7nm 7LPP和6nm 6LPP工艺芯片,这是全球首个专为EUV极紫外光刻技术设计的代工厂。三星的7LPP和6LPP工艺主要瞄准的是先进的移动SoC芯片市场,预计本季度将逐步出货,其中7LPP可能是对外代工的主力,而6LPP可能主要用于三星自家或特定客户项目。
三星强调,6LPP工艺相比7LPP在晶体管密度上提升约10%,有助于降低功耗,且两者具备兼容性,设计针对7LPP的IP可以直接复用,从而降低了生产成本。在工艺路线图上,三星计划采用EUV技术的5LPE、4LPE、3GAE、3GAP等更高级别工艺,其中5nm和4nm被视为7nm的进一步升级,而3nm则是全新的设计起点。
例如,高通的第三代5G基带骁龙X60已采用三星5nm工艺,而3nm技术的开发也即将在年内完成,三星将放弃沿用多年的FinFET架构。V1工厂自2018年2月建设,2019年试生产,预计产能将迅速扩大,到今年年底,7LPP EUV及后续先进工艺的总产能将是2019年底的三倍,总投资预计达到60亿美元。
韩国三星在位于华城市的V1工厂实现了一项重大突破,该工厂已经开始大规模生产7nm 7LPP和6nm 6LPP工艺芯片,这是全球首个专为EUV极紫外光刻技术设计的代工厂。三星的7LPP和6LPP工艺主要瞄准的是先进的移动SoC芯片市场,预计本季度将逐步出货,其中7LPP可能是对外代工的主力,而6LPP可能主要用于三星自家或特定客户项目。
三星强调,6LPP工艺相比7LPP在晶体管密度上提升约10%,有助于降低功耗,且两者具备兼容性,设计针对7LPP的IP可以直接复用,从而降低了生产成本。在工艺路线图上,三星计划采用EUV技术的5LPE、4LPE、3GAE、3GAP等更高级别工艺,其中5nm和4nm被视为7nm的进一步升级,而3nm则是全新的设计起点。
例如,高通的第三代5G基带骁龙X60已采用三星5nm工艺,而3nm技术的开发也即将在年内完成,三星将放弃沿用多年的FinFET架构。V1工厂自2018年2月建设,2019年试生产,预计产能将迅速扩大,到今年年底,7LPP EUV及后续先进工艺的总产能将是2019年底的三倍,总投资预计达到60亿美元。
