今天刷到一篇讲国内MEMS现状的稿子,感觉总结得挺全,但到底准不准、靠不靠谱,咱普通网友也吃不准,纯当吃瓜看看哈~
1. 复旦鲍敏杭老师,公认国内MEMS一哥!搞传感器十多年,理论+实战双拉满,现在是S&A和JMM两大顶刊的审稿人(JMEMS记不太清了,可能也是?)。印象里好像还当过MEMS顶会的审委。复旦压阻方向直接封神,出了超多人才,条件不算顶配,成果却硬核,真服!
2. 工艺最强还得看北大!深槽刻蚀直接拉到世界水准,张大成老师把这活儿玩明白了~手头三大神器:深槽刻蚀机、双面光刻机、键合设备,已整出两套体硅+一套单层多晶硅表面工艺,贼实用!不过北大入局晚(97年才起步),底子薄了点,CAD靠973项目撑着,但工艺这块,真·王炸。
3. 清华双线作战:微所+精仪,都猛!微所和东南是最早搞MEMS的元老,硬件更是壕——IC工艺线连国外高校都馋哭!那篇发在JMEMS上的麦克风论文,据说是大陆唯一一篇!主攻系统集成,稳得很~精仪系周兆英老师的微泵很秀,上过MEMS顶会;测试能力也是一绝。另外必须补一句:高钟毓老师真·低调大神!我导师带我们去参观过,人超谦和,还给我审过论文,respect!
4. 上海冶金所——妥妥的暴富流代表!抱紧江公子大腿后,资源哗哗来,设备买买买,测试也跟上了,IC老底子+人才储备足,钱到位,未来真有可能冲第一!
5. 交大有点惨…当初all in LIGA,结果路越走越窄我去过他们实验室,条件确实一般。陈笛老师很拼,想法也多,但LIGA这条路,个人觉得难持续,估计后面得转型。
6. 东南大学——MEMS黄埔军校之一!黄庆安老师那本MEMS(小黄书)至今还是中文圈天花板,听说当年自掏1万块出版,牛就一个字!可惜缺钱,一直没做大做强,现在转向MEMS CAD这种省钱路线,黄老师这步棋,属实清醒又务实~
7. 西安交大也有布局,起步也不晚,但一直没打出来。印象里压电方向做过些亮眼东西,其他就不咋熟了。
8. 哈工大也在搞,电化学腐蚀这块……(后面断了,咱也不知道后面想说啥)
1. 复旦鲍敏杭老师,公认国内MEMS一哥!搞传感器十多年,理论+实战双拉满,现在是S&A和JMM两大顶刊的审稿人(JMEMS记不太清了,可能也是?)。印象里好像还当过MEMS顶会的审委。复旦压阻方向直接封神,出了超多人才,条件不算顶配,成果却硬核,真服!
2. 工艺最强还得看北大!深槽刻蚀直接拉到世界水准,张大成老师把这活儿玩明白了~手头三大神器:深槽刻蚀机、双面光刻机、键合设备,已整出两套体硅+一套单层多晶硅表面工艺,贼实用!不过北大入局晚(97年才起步),底子薄了点,CAD靠973项目撑着,但工艺这块,真·王炸。
3. 清华双线作战:微所+精仪,都猛!微所和东南是最早搞MEMS的元老,硬件更是壕——IC工艺线连国外高校都馋哭!那篇发在JMEMS上的麦克风论文,据说是大陆唯一一篇!主攻系统集成,稳得很~精仪系周兆英老师的微泵很秀,上过MEMS顶会;测试能力也是一绝。另外必须补一句:高钟毓老师真·低调大神!我导师带我们去参观过,人超谦和,还给我审过论文,respect!
4. 上海冶金所——妥妥的暴富流代表!抱紧江公子大腿后,资源哗哗来,设备买买买,测试也跟上了,IC老底子+人才储备足,钱到位,未来真有可能冲第一!
5. 交大有点惨…当初all in LIGA,结果路越走越窄我去过他们实验室,条件确实一般。陈笛老师很拼,想法也多,但LIGA这条路,个人觉得难持续,估计后面得转型。
6. 东南大学——MEMS黄埔军校之一!黄庆安老师那本MEMS(小黄书)至今还是中文圈天花板,听说当年自掏1万块出版,牛就一个字!可惜缺钱,一直没做大做强,现在转向MEMS CAD这种省钱路线,黄老师这步棋,属实清醒又务实~
7. 西安交大也有布局,起步也不晚,但一直没打出来。印象里压电方向做过些亮眼东西,其他就不咋熟了。
8. 哈工大也在搞,电化学腐蚀这块……(后面断了,咱也不知道后面想说啥)
